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北方华创有望抢占14nm工艺设备市场6款12吋设备进

admin 人造钻石 2021年03月19日

  据SEMI China预计,2017 年全球半导体设备规模增长19.8%达494 亿美元,首次超过2000 年的477 亿美元,并预测2018 年增长至532亿美元,届时中国半导体设备有望以110 亿美元销售额跃居第二,占据全球61.4%市场份额,形成以韩国、台湾、中国为主的竞争格局,国产半导体设备呈现加速替代的趋势。而作为国内半导体设备的龙头企业之一,

  近日,北方华创接受逾20家机构投资者调研时表示,集成电路制造产线的投入主要由扩产规模决定,以12吋集成电路制造产线%是基建投入。根据数据统计,设备投资中刻蚀机占21%,CVD设备占15%,清洗设备占8%,PVD占5%,热处理设备占3%。

  北方华创称,目前已有多家集成电路制造厂商公布了扩产计划,如中芯国际已公布上海月产7万片、深圳月产4万片、天津月产10万片等的扩产计划,长江存储公布了总计30万片的扩产计划,华力微电子也公布了月产4万片的扩产计划,未来公司将根据客户的实际建设进度,积极争取相关设备订单。

  作为国家02 重大科技专项承担单位,北方华创凭借深厚的技术积累与开发填补了我国半导体设备领域的多项空白,目前北方华创的12吋28nm制程的刻蚀机、PVD、立式氧化炉、清洗机、LPCVD等设备已处于产业化初期阶段,相关产品已交付客户,同时已有6款12吋14nm制程设备进入客户端开展工艺研发,其主要客户为中芯国际、武汉新芯、三安光电、华灿光电、京东方、乐叶光伏、晶澳太阳能等。

  北方华创表示,公司28nm Hardmask PVD、AI-Pad PVD设备率先打入国际供应链,28nm PVD 已经成为中芯国际的baseline 机台,12 英寸清洗机累计流片量已突破60 万片,PVD 机台已成为全球排名前三的CIS 封装企业的首选机台。在LED 领域,北方华创的氮化镓刻蚀机、PSS 刻蚀机、AlN 缓冲层溅射设备、EPEE550 系列PECVD 等表现抢眼,订单有了大幅度的增长。

  据了解,北方华创生产的刻蚀设备、PVD、LPCVD、氧化炉等已经成功进入中芯国际12寸生产线,清洗机和传送设备已经进入京东方8.5代线nm工艺设备交付客户验证,有望抢占14nm工艺设备市场。值得提及的是,今年北方华创硅单晶炉设备累计获得订单及中标金额逾10 亿元,并首次进入台湾市场,新型号真空钎焊炉实现了对欧盟出口。


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